液温変化対応の新流量計が半導体製造を変える！

新たな流量管理技術「マルチフローR」の登場

流量計測は、半導体製造装置や薬液供給システムにおける重要な要素です。しかし、流体の液温変化による流量の誤差は、これまでも大きな課題として存在していました。流量計の精度が求められる中、これを克服する新たなソリューションが登場しました。それが、株式会社リガルジョイントから発表された「マルチフローR」です。

マルチフローRの特徴と機能

マルチフローRは、New PFA接液構造を採用し、幅広い薬液に対応可能です。特に注目すべきは、その温度補正機能です。この機能により、流体の温度が変化しても流量の誤差を自動的に補正します。これにより、監視や調整作業が必要なくなり、作業効率が大幅に向上します。原材料やプロセスによっては、温度変化が流量に影響を与えることがあるため、この機能は特に重要です。

課題解決へのアプローチ

一般的な流量計の中には、温度補正機能がないものも多く存在します。これらは温度変化により流体の粘度が変化しやすく、その結果として流量計測に誤差を招いてしまいます。このような状況では、運用コストが増大し、品質の維持にも支障が出る可能性があります。しかし、マルチフローRはその構造に温度センサーを搭載しており、流体温度の変動に応じてリアルタイムで補正を行います。

製品スペックと対応薬液

マルチフローRは、以下のスペックを備えています。

- 流量範囲: 0.3～100L/min
- 流量精度: ±2% F.S.（MFR301/302/303/304）・±3% F.S.（MFR305）
- 温度精度: ±2℃
- 接液材質: New PFA
- 流体温度: 0～90℃

また、約80種類の薬液に対応しており、様々な産業で活躍します。これにより、半導体製造の現場に限らず、薬液供給を行う全ての装置においてもその効果を発揮することが期待されています。

今後の展開と期待

株式会社リガルジョイントは、本製品の導入により、半導体製造装置メーカーや薬液供給を行う産業の効率化を図る予定です。2026年6月15日の販売開始を予定しており、その後もラインアップを充実させ、さらなる技術革新を目指しています。流量計の高精度化と、省スペース設計は、産業装置における新たなスタンダードとなることでしょう。

マルチフローRは、流量管理の未来を見据えた技術革新の結晶です。今後の動向に注目です！